经济和科技发达的和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,洁净室净化工程,都规定了有关的洁净度等级,洁净室净化工程,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布<洁净厂房设计规范>(gbj73-84),1996年该规范进行了较大的修改,洁净室净化工程,1990年颁布<洁净室施工及验收规范>(jgj71-90)以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
7. 进入净化区域后不得穿鞋套 8. 进入洁净区的人员要正确佩带好个人防护用品 9. 进入洁净区的人员要正确佩带好个人防护用品 10. 生产人员离开岗位时要做好记录 11. 生产人员进入生产区域后要更换衣服。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。
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