2.机械性过滤—hepa网 hepa(high efficiency particulate air filter)，中文意思为空气过滤器，达到hepa标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，hepa网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；1．静电电引起的静电，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受而摔倒，由摔倒又致伤)；2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块p- mos电路放在塑料袋内，车间净化工程，摇晃数次后，与非门栅极---击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；
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