光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、---等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,无尘车间净化工程,而所给于---设计之密闭空间。
乱流洁净室的主要特点是---流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。
例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,三明无尘车间净化,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,无尘车间净化工程,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。
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