净化车间内的各种刷涂、保温工程等应符合有关规定;净化车间的内墙壁、顶棚表面、地面应平整、光滑、不起灰尘、色泽均匀等;送、回风口及各类末端装置、管道、动力线配管、照明等穿越净化车间时,穿越处的密封处理应严密---。
相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,洁净室净化,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,洁净室净化工程,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35—45%。
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较之洁净空间,洁净室净化工程,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
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