并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,厂房净化工程,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳湿度范围为35—45%。
送回风管道用热渡锌板制成,福建厂房净化,贴净化保温效果好的阻燃型pf发泡塑胶板送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
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