静电式净化方式工作原理:采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下,电晕层中产生大量的负离子,洁净室净化工程,负离子在静电场的作用下,不断地向阳极运动。
2.机械性过滤—hepa网 hepa(high efficiency particulate air filter),中文意思为空气过滤器,达到hepa标准的过滤网,对于0.3微米的有效率达到99.998%,hepa网的特点是空气可以通过,实验室净化工程,但细小的微粒却无法通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。
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