光学微电子净化工程一般包括:1、 洁净生产区2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息)4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
为了产品和生产安全控制产品生产过程的各种污染源(如粉尘)的产生与排放;为了保护人体健康和提高生活减少室内各种化学性气体对人体的危害和对环境的污染。
2.机械性过滤—hepa网 hepa(high efficiency particulate air filter),车间净化工程,中文意思为空气过滤器,达到hepa标准的过滤网,对于0.3微米的有效率达到99.998%,hepa网的特点是空气可以通过,但细小的微粒却无法通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成,形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。
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