换气次数:100000级***15次;10000级***20次;1000***30次。压差:主车间对相邻房间***5pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>;16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。湿度45-65%;---车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65db(a);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300lx
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,厂房净化工程,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
静电式净化方式工作原理:采用高压静电吸附除尘工作原理。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下,电晕层中产生大量的负离子,负离子在静电场的作用下,不断地向阳极运动。
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