不过对室内气流速度也有如下要求;(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度。(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,无尘车间净化,易污染制程产品。另外若系统停止运转再重启,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
静电问题所以在洁净室中------,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,洁净室净化,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有---的电阻率,福州净化,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被广泛采用的。
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