例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，三明净化工程，同时要求湿度值一般较低，食品车间净化工程，因为人出汗以后，对产品将有污染，---是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。
7. 进入净化区域后不得穿鞋套 8. 进入洁净区的人员要正确佩带好个人防护用品 9. 进入洁净区的人员要正确佩带好个人防护用品 10. 生产人员离开岗位时要做好记录 11. 生产人员进入生产区域后要更换衣服。
人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中，由于风速较低，空气稀释程度较小，手术室净化工程，从而使得污染浓度较高。因此，必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的范围里，以便使中断的单向流能快速恢复，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。
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