复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。
因此,在净化室内必须按照规范操作才能---产品合格。一、净化车间的环境条件要求1、空气洁净度:应符合---的要求;2、温度:一般控制在20°c~25°c之间;3、相对湿度:45%~65%,无凝露现象;4、振动与冲击:振动频率不大于2hz(a);5、噪声:小于50db(a)6、照明与采光:照明应采用荧光灯具或防爆灯具,并应有足够的光源强度和照度;7、清洁卫生设施配备齐全。
大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求,不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求,而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此,在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施,例如:夏季要降温、去湿(因为夏季室外空气是高温、高湿的),冬季要加热加湿(因为冬季室外空气是寒冷干燥的,室内湿度过低会产生静电,静电对电子产品的生产是致命的)。
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