缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再重启,万级洁净室,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
操作,---生产安全 净化车间是医食品等行业的关键场所,洁净室工程,也是---生产的后一道关口。洁净室内的温湿度和压力变化对产品的有重要影响,如果控制不当将直接导致产品下降甚至报废。
例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,福州洁净室,---是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。
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